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用于阻止高纵横比结构在干燥过程中塌陷的组合物和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201880063853.6
IPC分类号：C11D7/50;C11D11/00;C11D7/32
申请日期：
2018-09-28
申请人：
弗萨姆材料美国有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于阻止高纵横比结构在干燥过程中塌陷的组合物和方法
申请号	CN201880063853.6	申请日期	2018-09-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-05-15	公开/公告号	CN111164195A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C11D7/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C11 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 C11D 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 C11D7/00 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 C11D7/50 溶剂〔2〕	IPC分类号	C;1;1;D;7;/;5;0;;;C;1;1;D;1;1;/;0;0;;;C;1;1;D;7;/;3;2查看分类表>
申请人	弗萨姆材料美国有限责任公司	申请人地址	美国亚利桑那州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	弗萨姆材料美国有限责任公司	当前权利人	弗萨姆材料美国有限责任公司
发明人	葛智逵;李翊嘉;刘文达;陈天牛
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	吴亦华;徐志明

摘要

本文描述了一种用于处理包含线距大小为50nm或更小的图案的衬底而阻止所述图案塌陷的水性组合物，所述组合物包含：包含水和水混溶性有机溶剂的溶剂体系；表面改性剂，其是烷基胺与有机酸之间的反应产物；和任选的pH调节剂。

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