球阀圆头表面TiVZrCrAl高熵合金涂层及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110075590.4
IPC分类号：C23C14/02;C23C14/35;C23C14/16
申请日期：
2021-01-20
申请人：
自贡市量子金属制造有限公司;四川轻化工大学

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著录项信息

专利名称	球阀圆头表面TiVZrCrAl高熵合金涂层及其制备方法
申请号	CN202110075590.4	申请日期	2021-01-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-08	公开/公告号	CN112921267A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/02 待镀材料的预处理（C23C 14/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;1;6查看分类表>
申请人	自贡市量子金属制造有限公司;四川轻化工大学	申请人地址	四川省自贡市贡井区桥头镇八店街变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	自贡市量子金属制造有限公司,四川轻化工大学	当前权利人	自贡市量子金属制造有限公司,四川轻化工大学
发明人	熊永利;何林芯;刘春海;赵莎;熊心德
代理机构	北京中济纬天专利代理有限公司	代理人	李蜜;钟玉巧

摘要

本发明公开了一种球阀圆头表面TiVZrCrAl高熵合金涂层及其制备方法，包括以下步骤：(1)预处理：对球阀圆头依次进行抛光、抛丸除锈、清洗、干燥处理；(2)偏压反溅射清洗：将步骤(1)干燥后的球阀圆头采用偏压反溅射清洗；(3)靶材预溅射：对TiVZrCrAl高熵合金靶材进行预溅射；(4)沉积TiVZrCrAl高熵合金涂层：在氩气气氛下，于相应溅射条件下对TiVZrCrAl高熵合金靶材进行溅射，每隔20～60min中断沉积5～10min；(5)去应力和矫正变形处理：球阀圆头保持沉积时的加热温度，静置30min以上，随炉自然冷却后取出即可。该制备方法所制备的高熵合金涂层，具有优异的高硬、耐蚀性，进而改善球阀的耐磨性能。

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