不等高垂直梳齿器件及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201711479000.4
IPC分类号：B81B5/00;B81C1/00
申请日期：
2017-12-29
申请人：
苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司

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著录项信息

专利名称	不等高垂直梳齿器件及其制备方法
申请号	CN201711479000.4	申请日期	2017-12-29
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-05-04	公开/公告号	CN107986227A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B5/00 由彼此相对移动的元件组成的装置，例如由滑动或转动元件组成〔7〕	IPC分类号	B;8;1;B;5;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢综合楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司	当前权利人	苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司
发明人	李文翔
代理机构	苏州谨和知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	唐静芳

摘要

本发明的不等高垂直梳齿器件，包括外框架、第一扭转结构、第二扭转结构以及梳齿结构，第二扭转结构设置在第一扭转结构与梳齿结构之间，第一扭转结构与第二扭转结构活动性设置在外框架上，第一扭转结构的一侧固定连接在外框架上，另一侧通过限位结构与第二扭转结构连接，第二扭转结构的一侧设有与梳齿结构相对应的梳齿部，梳齿部与梳齿结构之间具有高度差。该不等高垂直梳齿器件通过特殊的梳齿结构、止挡销结构以及扭转结构，在外力作用下，使该器件实现不等高垂直梳齿结构，具有结构简单、稳定的特点，且其制备方法无需上下梳齿的高精度对位、高精度双面对准光刻等复杂工艺，对工艺、设备要求不高，制备成本较低，且工艺稳定性高、易于生产制造。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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