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一种雾化沉积室

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510339662.6
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2015-06-18
  • 申请人:
    扬州明晟新能源科技有限公司
著录项信息
专利名称一种雾化沉积室
申请号CN201510339662.6申请日期2015-06-18
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-01-11公开/公告号CN106319480A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人扬州明晟新能源科技有限公司申请人地址
江苏省扬州市高邮市城南新区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人扬州明晟新能源科技有限公司当前权利人扬州明晟新能源科技有限公司
发明人张卫华;高中明;陈源清
代理机构扬州市锦江专利事务所代理人江平
摘要
一种雾化沉积室,涉及雾化热分解沉积薄膜的成形技术领域。由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成,在气雾缓冲室上设置气雾导入口,在气雾隔离室上设置净气导入口,在废气回收室上设置废气导出口;气雾缓冲室的下端与所述气雾导出狭缝的上端联通,在气雾隔离室的下端设置气雾约束狭缝,在废气回收室的下端设置气雾回收狭缝,所述气雾导出狭缝的下端设置在所述气雾约束狭缝和气雾回收狭缝之间,气雾导出狭缝与气雾约束狭缝和气雾回收狭缝相互平行布置。本结构简捷紧凑,能够有效控制雾化沉积过程中流场分布、沉积雾滴的均匀性、热分解反应副产物的收集、适合工业化生产。

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