一种石墨舟片检测工具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921718715.5
IPC分类号：H01L21/673;H01L21/66
申请日期：
2019-10-14
申请人：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

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著录项信息

专利名称	一种石墨舟片检测工具
申请号	CN201921718715.5	申请日期	2019-10-14
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/673 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/673 使用专用的载体的〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司	当前权利人	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司
发明人	陈林;乔勇;孙贤
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本实用新型属于石墨舟技术领域，公开了一种石墨舟片检测工具，其包括基体，所述基体上设置有与被检测石墨舟片的外形相适配的凹槽，所述凹槽内设置有与被检测的石墨舟片上的孔的位置及截面形状一一对应的定位柱。本实用新型提供的石墨舟片检测工具，可以对石墨舟片是否发生结构偏差进行检测，检测过程只需作业人员观察被检测石墨舟片能否落入该检测工具的凹槽内即可，无需通过肉眼观察检测石墨舟片的细微结构，降低了检测难度，并提高检测效率和准确率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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