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玻璃硬化光学镀膜腔体

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810306795.7
  • IPC分类号:C23C14/24;C23C14/12
  • 申请日期:
    2018-04-08
  • 申请人:
    江阴市光科真空机械有限公司
著录项信息
专利名称玻璃硬化光学镀膜腔体
申请号CN201810306795.7申请日期2018-04-08
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2018-07-31公开/公告号CN108342696A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;2查看分类表>
申请人江阴市光科真空机械有限公司申请人地址
江苏省无锡市江阴市高新园区长山路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江阴市光科光电精密设备有限公司当前权利人江阴市光科光电精密设备有限公司
发明人瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋
代理机构江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王威钦
摘要
本发明公开了玻璃硬化光学镀膜腔体,包括腔体本体,腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成,腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置,腔体侧板垂直于腔体顶板设置,腔体底板上固定设置靶材,靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成,靶材体在腔体底板上均匀设置。本发明提前将靶材加工成若干个丝状或扁条状的靶材体,这样等于在腔体底板上均匀摊铺靶材,避免了蒸镀蒸汽在基材上散布不均,在基材上镀得的膜厚薄均一;冷却套和加热套的设置使得对腔体顶板和腔体侧板的冷却更均匀、腔体底板的加热更均匀,并且简化了冷却结构,省去了真空腔体的冷却水管。

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