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甩胶喷雾热分解薄膜制备设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710304425.1
  • IPC分类号:C23C20/00
  • 申请日期:
    2007-12-27
  • 申请人:
    北京石油化工学院
著录项信息
专利名称甩胶喷雾热分解薄膜制备设备
申请号CN200710304425.1申请日期2007-12-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-08-20公开/公告号CN101245453
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C20/00IPC分类号C;2;3;C;2;0;/;0;0查看分类表>
申请人北京石油化工学院申请人地址
北京市大兴区黄村清源北路19号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京石油化工学院当前权利人北京石油化工学院
发明人武光明;朱江
代理机构北京凯特来知识产权代理有限公司代理人郑立明;孟丽娟
摘要
本发明公开一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备。包括:转动装置的转轴端向下设置在机架上,转轴上通过转动连杆吊装设置衬底的转盘,转轴前端为喷嘴,所述喷嘴通过管路与雾化装置连接,转轴的喷嘴与下方的转盘上的衬底相对应,转轴及转盘均设置在机架的反应室内;转盘下方的机架上设有与转盘对应的加热装置,加热装置与控温装置连接;转盘的衬底下面设有测温装置,测温装置与所述控温装置连接;所述反应室上设有抽气孔,抽气孔与抽气装置连接。该设备通过转动装置、喷嘴、雾化装置配合形成甩胶喷雾的方式制备厚度均匀、洁净的薄膜,且加热装置直接加热使制备薄膜不龟裂。转动装置设在转盘及加热装置上方,不受加热装置发热的影响,保证设备正常工作。

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