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单管直流溅射镀膜设备及其使用方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210124826.X
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2012-04-26
  • 申请人:
    北京物华天宝镀膜科技有限公司
著录项信息
专利名称单管直流溅射镀膜设备及其使用方法
申请号CN201210124826.X申请日期2012-04-26
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2013-10-30公开/公告号CN103374703A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人北京物华天宝镀膜科技有限公司申请人地址
北京市顺义区李桥镇任李路沿河段1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京物华天宝镀膜科技有限公司当前权利人北京物华天宝镀膜科技有限公司
发明人杨宏斌;李忠祥;康延坡
代理机构北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)代理人张江涵
摘要
本说明书公开了一种通过改进生产设备,可大幅度节省设备投资却不影响溅射效果的单管直流溅射镀膜方法及其设备。为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:所使用设备包括:直流电源和单管旋转阴极;所述单管旋转阴极结构包括:阴极靶材,所述阴极靶材安装在一对旋转端头上,旋转端头连接在阴极盖板下方,阴极盖板一端设有电源接口,冷却水接口,控制回路接口和供气接口;电源接口上连接直流电源;阴极盖板内设有气体流量计,上部供气口,控制部分和旋转电机。本发明提高靶材的利用率并且节省设备投资。

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