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一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610425138.5
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2016-06-13
  • 申请人:
    安徽德衍智控科技有限公司
著录项信息
专利名称一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法
申请号CN201610425138.5申请日期2016-06-13
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2016-08-17公开/公告号CN105867074A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人安徽德衍智控科技有限公司申请人地址
安徽省淮北市众帮创业园科创楼107室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽德衍智控科技有限公司当前权利人安徽德衍智控科技有限公司
发明人程刚;张慧珍;山显雷
代理机构南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)代理人朱亮淞
摘要
本发明公开了一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法,包括物镜托架板、安装板、柔性块和调平机构,所述物镜托架板上安装有物镜,所述柔性块的上层与物镜托架板下底面平行设置,所述柔性块的下层与安装板的上表面平行设置;所述柔性块通过调平机构调节实现物镜托架板在X和Y轴方向微位移,实现物镜在X和Y轴方向上的调平。本发明提供一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法,保证物镜的光轴与硅片表面垂直,并保证物镜的理想像平面与理想的硅片上表面重合。

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