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一种低温式真空镀膜机

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721149664.X
  • IPC分类号:C23C14/24
  • 申请日期:
    2017-09-08
  • 申请人:
    上海英冠镀膜科技有限公司
著录项信息
专利名称一种低温式真空镀膜机
申请号CN201721149664.X申请日期2017-09-08
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人上海英冠镀膜科技有限公司申请人地址
上海市松江区泖港镇新宾路1582号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海英冠镀膜科技有限公司当前权利人上海英冠镀膜科技有限公司
发明人陈中修;谢培康;吕存山
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种低温式真空镀膜机,包括置物平台、水泵、电机支撑底座、集水箱、冷凝回流管架和真空炉,所述支撑底座的顶端安装有电机箱,且电机箱内部底端的中间位置处安装有电机,所述电机箱顶端的中间位置处安装有真空炉,且真空炉内部底端的中间位置处安装有旋转底座,所述旋转底座的顶端安装有集水箱,且集水箱的顶端安装有冷凝回流管架。本实用新型通过安装有集水箱、水泵、冷凝回流管架、冷凝装置,在使用时集水箱内的水通过水泵抽入冷凝回流管架内,对置物平台上的靶材进行冷却降温,并且冷凝装置使得水温度一直温度恒定,使得靶材上的膜快速冷却成型,这样不仅加速了镀膜速率,并且保证了装置内部的温度恒定。

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