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具有电子发射器件的电子源及图象形成装置的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN00104368.4
  • IPC分类号:H01J1/30;H01J9/02;H01J31/12
  • 申请日期:
    1995-08-02
  • 申请人:
    佳能株式会社
著录项信息
专利名称具有电子发射器件的电子源及图象形成装置的制造方法
申请号CN00104368.4申请日期1995-08-02
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2001-02-14公开/公告号CN1283863
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J1/30IPC分类号H;0;1;J;1;/;3;0;;;H;0;1;J;9;/;0;2;;;H;0;1;J;3;1;/;1;2查看分类表>
申请人佳能株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佳能株式会社当前权利人佳能株式会社
发明人岩崎达哉;山野边正人;塚本健夫;山本敬介;浜元康弘
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人杜日新
摘要
一种电子源的制造方法,该电子源包括许多排列在基板上的电子发射器件,其中,每个所述电子发射器件通过包括下述步骤的方法制造形成一对电极和一导电膜,将所述导电膜布置在所述电极对之间,并且与所述电极对相连;在所述导电膜中形成缝隙和形成一个涂膜,它布置在所述缝隙中,与所述导电膜相连,该涂膜是由单一元素、元素的合金、元素的混合物、或元素的氧化物制成,具有比所述导电膜的材料更高熔点,所述元素选自周期表中第5和第6周期中的第IVa、Va、VIa、VIIa、VIII族中的元素,由此在所述缝隙中形成比所述缝隙更窄的间隙,以便在所述导电膜中形成电子发射部分。

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