依据批量与工具可用状态计划生产批次的方法与装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02823543.6
IPC分类号：G05B19/418;G05B21/02;G06F19/00
申请日期：
2002-10-31
申请人：
先进微装置公司

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著录项信息

专利名称	依据批量与工具可用状态计划生产批次的方法与装置
申请号	CN02823543.6	申请日期	2002-10-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-03-16	公开/公告号	CN1596390
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8;;;G;0;5;B;2;1;/;0;2;;;G;0;6;F;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人	先进微装置公司	申请人地址	英属开曼群岛大开曼岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格罗方德半导体公司	当前权利人	格罗方德半导体公司
发明人	M·S·吕斯科斯基
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	戈泊;程伟

摘要

一种用于计划生产流程的方法，是包含有在一个处理流程中处理多个制造产品；为该多个制造产品的至少一个子集合决定产品可用状态衡量值；为在该处理流程中的多个工具决定工具可用状态衡量值；以及依据该产品可用状态衡量值与该工具可用状态衡量值而计划该制造产品在该工具的处理。一种制造系统，是包含有在一个处理流程中用于处理多个制造产品的多个工具、产品可用状态监视器、工具可用状态监视器、以及计划用服务器。该产品可用状态监视器建构成为多个制造产品的至少一个子集合决定产品可用状态衡量值。该工具可用状态监视器建构成为多个工具的至少一个子集合决定工具可用状态衡量值。该计划用服务器建构成依据该产品可用状态衡量值与该工具可用状态衡量值而计划该制造产品在该工具中的处理。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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