适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020690470.2
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/06
申请日期：
2010-12-30
申请人：
绍兴精功机电有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置
申请号	CN201020690470.2	申请日期	2010-12-30
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	绍兴精功机电有限公司	申请人地址	浙江省绍兴市绍兴县杨汛桥镇绍兴精功机电有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	绍兴精功机电有限公司	当前权利人	绍兴精功机电有限公司
发明人	孙国飞;陈辉;张鹏铭;朱鑫峰;张玮;徐飞;吴建飞
代理机构	浙江翔隆专利事务所	代理人	戴晓翔

摘要

本实用新型涉及一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置。它包括炉壁，设置在炉壁上的电热元件支承座，通过刚玉管支撑的电热元件，所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座上，其特征在于电热元件支承座的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。本实用新型具有的有益效果：电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合，通过拆卸连接组件，可方便的拆下电热元件支承座进行更换，不再额外破坏原本完好的保温层，使得维修更换更为方便，且维修工程小、成本低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供