基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310065633.6
IPC分类号：B81C99/00
申请日期：
2013-03-01
申请人：
广东工业大学

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著录项信息

专利名称	基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法
申请号	CN201310065633.6	申请日期	2013-03-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-25	公开/公告号	CN103318839A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C99/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C99/00 本小类其他各组中不包括的技术主题〔2010.01〕	IPC分类号	B;8;1;C;9;9;/;0;0查看分类表>
申请人	广东工业大学	申请人地址	广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东工业大学	当前权利人	广东工业大学
发明人	高健;谭国成;陈新;姜永军;曹占伦;杨志军;刘冠峰;李泽湘
代理机构	广州粤高专利商标代理有限公司	代理人	林丽明

摘要

本发明是一种基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法。包括平台底板及音圈电机，平台底板安装在隔振基座上，音圈电机安装在平台底板的一侧，音圈电机包括有音圈电机外壳、音圈电机磁铁组件、音圈电机线圈、音圈电机线性编码器、电机轴连接架。本发明由于采用由音圈电机驱动平台进行大行程高速的进给，压电陶瓷直接连接在音圈电机的输出轴上的结构，因此，本发明结构紧凑，易于反馈控制。此外，平台上安装有压电陶瓷，通过施加反向作用力，起到高速运动平台的减振作用，能有效地解决高加速度运动过程平台振动大、难于快速稳定的问题；在平台稳定后压电陶瓷则切换功能，用于驱动微平台运动，并通过绝对光栅的闭环控制，实现平台微运动的精密定位。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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