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用于在模块式涂覆设备中输送并移动基片的优化系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202080028347.0
IPC分类号：C23C14/50
申请日期：
2020-02-20
申请人：
欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于在模块式涂覆设备中输送并移动基片的优化系统和方法
申请号	CN202080028347.0	申请日期	2020-02-20
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-19	公开/公告号	CN113677823A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔	申请人地址	瑞士苏黎世州普费菲孔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔	当前权利人	欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
发明人	马库斯·埃塞尔巴赫;西蒙·亚伯拉罕;米凯尔·艾本伯格;安德烈亚斯·弗吕克;奥斯玛·齐格
代理机构	深圳中一联合知识产权代理有限公司	代理人	徐飞

摘要

本发明提供一种用于涂覆基片的解决方案，基片借助于载具被移动，该载具能够在具有如下系统的连续串列生产设备中在涂装、涂覆或处理模块之间移动，该系统允许在用于重要工艺过程，如物理气相沉积(PVD)涂覆、UV硬化和IR闪照的有限来回回转运动，即所谓摇摆模式，与在基片处于涂装或干燥过程模块中时的基片连续回转运动之间轻松切换。

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