加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种逆导型集成门极换流晶闸管制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210524763.7
  • IPC分类号:H01L21/332;H01L29/74
  • 申请日期:
    2012-12-07
  • 申请人:
    株洲南车时代电气股份有限公司
著录项信息
专利名称一种逆导型集成门极换流晶闸管制作方法
申请号CN201210524763.7申请日期2012-12-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-03-13公开/公告号CN102969245A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/332IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;3;2;;;H;0;1;L;2;9;/;7;4查看分类表>
申请人株洲南车时代电气股份有限公司申请人地址
湖南省株洲市石峰区田心时代路169号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株洲南车时代电气股份有限公司当前权利人株洲南车时代电气股份有限公司
发明人陈芳林;刘可安;唐龙谷;张弦;雷云
代理机构湖南兆弘专利事务所代理人赵洪
摘要
本发明公开了一种逆导型集成门极换流晶闸管制作方法,包括:S100:在原始N-衬底的一面轻掺杂一层N′杂质;S101:制作GCT的P型基区和FRD的P型基区;S102:在N-衬底的另一面进行N′杂质掺杂;S103:在GCT阴极和FRD阴极进行N+预沉积;S104:在隔离区的上表面和GCT的门极区域刻蚀隔离沟槽;S105:在GCT阴极和FRD阴极进行N+推进、钝化;S106:在GCT阳极进行P+掺杂;S107:制作电极。本发明利用杂质的补偿作用,在不改变隔离区P型掺杂分布的条件下,增加了隔离区的有效宽度,克服了现有技术存在的扩散控制精度不高、工艺复杂、不适用于高压器件的缺点。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供