新型晶圆检查台宏观照明装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721472240.7
IPC分类号：F21K9/20;F21V8/00;F21V5/00;H01L21/66;F21Y115/10
申请日期：
2017-11-07
申请人：
上海灏谷集成电路技术有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	新型晶圆检查台宏观照明装置
申请号	CN201721472240.7	申请日期	2017-11-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F21K9/20 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F21 照明 F21K 应用荧光的非电光源；应用场致化学发光的光源；应用充填可燃材料的光源；采用半导体器件作为发光元件的光源；不包含在其他类目中的光源 F21K9/00 采用半导体器件作为发光元件的光源，例如采用发光二极管〔LED〕或激光器 F21K9/20 包含附件的光源〔2016.01〕	IPC分类号	F;2;1;K;9;/;2;0;;;F;2;1;V;8;/;0;0;;;F;2;1;V;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;F;2;1;Y;1;1;5;/;1;0查看分类表>
申请人	上海灏谷集成电路技术有限公司	申请人地址	上海市黄浦区复兴中路1号1207A室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海灏谷集成电路技术有限公司	当前权利人	上海灏谷集成电路技术有限公司
发明人	魏盘生
代理机构	北京挺立专利事务所（普通合伙）	代理人	倪钜芳

摘要

本实用新型公开了一种新型晶圆检查台宏观照明装置，其包括通过安装支架而布置于晶圆检查台前侧、后侧的第一、第二宏观照明光纤；LED灯光源，其连接于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，其分别设置于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端；安装支架设置有对接夹持块，对接夹持块包括设置于安装支架竖向部的第一夹持件，其设置有第一半圆孔；与第一夹持件可拆卸连接的第二夹持件，其设置有第二半圆孔，第一半圆孔、第二半圆孔共同构成照明光线夹持孔。照明光纤可以通过可拆卸的对接夹持块进行固定或者拆卸，提高了照明光纤安装的便捷性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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