一种抛光垫自动清理装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420596525.1
IPC分类号：B24B55/00
申请日期：
2014-10-15
申请人：
易德福

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种抛光垫自动清理装置
申请号	CN201420596525.1	申请日期	2014-10-15
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B55/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B55/00 用于磨床或抛光机的安全装置；配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件	IPC分类号	B;2;4;B;5;5;/;0;0查看分类表>
申请人	易德福	申请人地址	江西省抚州市高新区金?大道198号孵化器创业园A7栋3楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江西德义半导体科技有限公司	当前权利人	江西德义半导体科技有限公司
发明人	易德福;吴城
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汤东凤

摘要

本实用新型公开了一种抛光垫自动清理装置，包括抛光机定盘，在抛光机定盘上固定有一抛光垫，抛光垫上方设有毛刷盘，毛刷盘中心设有真空孔；毛刷盘上方设有抛光头和贯穿抛光头的真空管道，真空管道的一端设有插头，通过插头与真空孔的配合将真空管道与毛刷盘可拆卸的固定在一起。其毛刷盘中心设有真空孔，不仅便于抛光头抓取毛刷盘，同时能够全面、无死角地清理抛光垫，大大降低抛光过程中抛光垫对晶片的伤害程度。进行清理动作时，毛刷盘的旋转方向与抛光机定盘同向或者反向相对运动，可以更全面、彻底地清理抛光垫，大大降低对抛光垫和晶片的损伤程度。并且全程均采用全自动控制程序，自动清理，操作简单，降低工人工作强度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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