一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911360689.8
IPC分类号：--
申请日期：
2019-12-25
申请人：
宁波江丰电子材料股份有限公司

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专利名称	一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法
申请号	CN201911360689.8	申请日期	2019-12-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-14	公开/公告号	CN111001921A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	宁波江丰电子材料股份有限公司	申请人地址	浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司	当前权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人	姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;慕二龙;罗明浩
代理机构	北京远智汇知识产权代理有限公司	代理人	王岩

摘要

本发明涉及一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)准备超高纯铜靶材和具有螺纹的背板，并将铜粉加入到背板上的螺纹处，然后和超高纯铜靶材装配；(2)将装配好的超高纯铜靶材和背板放入包套，然后对包套进行焊接并抽真空；(3)将抽真空后的包套进行热等静压处理，之后冷却并移除包套，完成焊接；其中，所述螺纹的间距为0.35‑0.45mm；所述螺纹的深度为0.2‑0.3mm。本发明中，通过对螺纹尺寸的合理设置及整体工艺条件的配置，实现了在超高铜靶材焊接过程中，靶材仍能保持良好的导电、导热性能以及焊接强度，从而能够保证靶材溅射速率的均一性，此外还能够避免靶材在溅射过程中发生Partical、Peeling、Arcing等异常现象。

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