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气凝胶包囊式影像传感器及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610127973.0
  • IPC分类号:H01L27/146
  • 申请日期:
    2016-03-07
  • 申请人:
    豪威科技股份有限公司
著录项信息
专利名称气凝胶包囊式影像传感器及其制造方法
申请号CN201610127973.0申请日期2016-03-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-10-05公开/公告号CN105990386A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6查看分类表>
申请人豪威科技股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人豪威科技股份有限公司当前权利人豪威科技股份有限公司
发明人范纯圣;林蔚峰
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)代理人宋融冰
摘要
气凝胶包囊式影像传感器包括装置晶粒及气凝胶层,该装置晶粒具有被制造于其上的影像传感器,以及气凝胶层包囊该影像传感器。用于包囊被形成于传感器数组片上的各个裸露影像传感器的影像传感器像素数组的方法可包括:在各影像传感器像素数组上注射未硬化的气凝胶部分,及硬化各未硬化的气凝胶部分。该硬化步骤可包括(a)超临界干燥,(b)表面改性干燥,及(c)针孔干燥未硬化的气凝胶部分中的至少一个。该方法可进一步包括切单片传感器数组片为多个气凝胶包囊式影像传感器。用于包囊在装置晶圆上的各个裸露影像传感器的影像传感器像素数组的方法可包括,形成气凝胶层于各裸露影像传感器上。该形成步骤可包括旋涂,浸涂,及喷涂气凝胶层于裸露影像传感器上的其中至少一个。

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