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一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310241292.3
  • IPC分类号:G01J3/42;G01N21/3577
  • 申请日期:
    2013-06-18
  • 申请人:
    武汉大学;中国人民解放军总后勤部油料研究所
著录项信息
专利名称一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪
申请号CN201310241292.3申请日期2013-06-18
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-10-09公开/公告号CN103344335A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J3/42IPC分类号G;0;1;J;3;/;4;2;;;G;0;1;N;2;1;/;3;5;7;7查看分类表>
申请人武汉大学;中国人民解放军总后勤部油料研究所申请人地址
湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉大学,中国人民解放军总后勤部油料研究所当前权利人武汉大学,中国人民解放军总后勤部油料研究所
发明人高志帆;田高友;张新民;曾立波;吴琼水;周友杰
代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人张火春
摘要
本发明提供一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪,包括红外光源、前置光学系统、样品池、分光成像模块、MEMS检测器、控制与信号处理模块。本发明采用固定光栅分光,阵列检测器检测,整个仪器无任何移动部件,具有很强的环境适应能力,且由于采用线阵检测器,检测范围内各波长同时被采集,可以提高光谱采集速度。本发明体积小、便于携带,可用于现场和在线检测等,适应野外振动、潮湿以及温差大的恶劣环境。

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