激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201410828841.1
IPC分类号：G05D27/02
申请日期：
2014-12-26
申请人：
华中科技大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统
申请号	CN201410828841.1	申请日期	2014-12-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-15	公开/公告号	CN104516378A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D27/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D27/00 包含在G05D 1/00至G05D 25/00两个或更多个大组中的变量的同时控制 G05D27/02 以使用电装置为特征的	IPC分类号	G;0;5;D;2;7;/;0;2查看分类表>
申请人	华中科技大学	申请人地址	湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华中科技大学	当前权利人	华中科技大学
发明人	李小平;纪辉强;石文中;赵艺文
代理机构	华中科技大学专利中心	代理人	李智

摘要

本发明公开了一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，包括：设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，用于保证光路传输腔室气压与外界气压有微正压；以及设置在光路传输通道的模块腔体之后的节流阀，且每个模块腔体之后对应设置一个所述的节流阀，用于调节各模块腔室与环境大气压的压差。本发明还公开了相应的温控与净化控制方法。本发明的装置和方法通过控制腔体与外界的压差恒定，同时通过加热器和热交换器实现腔体的精确温度控制，从而满足激光光源对于传输腔室内气体的压力和温度的高精确性和稳定性需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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