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一种用于玻璃晶圆的精雕装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920766044.3
  • IPC分类号:B28D7/04
  • 申请日期:
    2019-05-27
  • 申请人:
    南阳凯鑫光电股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于玻璃晶圆的精雕装置
申请号CN201920766044.3申请日期2019-05-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B28D7/04IPC分类号B;2;8;D;7;/;0;4查看分类表>
申请人南阳凯鑫光电股份有限公司申请人地址
河南省南阳市信臣西路569号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南阳凯鑫光电股份有限公司当前权利人南阳凯鑫光电股份有限公司
发明人徐峥
代理机构北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王志敏
摘要
本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的精雕装置,包括精雕机本体,精雕机本体包括支撑板,支撑板的顶端侧壁固定有支撑柱,支撑柱远离支撑板的顶端侧壁固定有固定板,固定板的两端均开设有对称设置的第一凹槽,第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有调节板,调节板与滑块之间垂直设置,调节板的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔,第一通孔的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条,调节板的一端延伸至第一凹槽外部固定有挡板,且挡板与调节板之间垂直设置。本实用新型能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定,便于进行固定,提高了便捷性,而且能够根据不同大小的晶圆工件进行调节,提高了实用性。

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