单晶炉石英坩埚的升降装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821615086.9
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/06
申请日期：
2018-09-30
申请人：
阳光能源（青海）有限公司

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著录项信息

专利名称	单晶炉石英坩埚的升降装置
申请号	CN201821615086.9	申请日期	2018-09-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	阳光能源（青海）有限公司	申请人地址	青海省西宁市经济技术开发区金源路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	阳光能源（青海）有限公司	当前权利人	阳光能源（青海）有限公司
发明人	高玉顺;马成宝;苏鑫;宋生宏;陈云;韩生才
代理机构	成都熠邦鼎立专利代理有限公司	代理人	张晨光

摘要

本实用新型公开了单晶炉石英坩埚的升降装置，它包括单晶炉（1）和石英坩埚（2），所述单晶炉（1）的底部开设有导向孔，单晶炉（1）的下方设置有油缸（3），油缸（3）的活塞杆（16）向上贯穿导向孔且延伸于单晶炉（1）内，活塞杆（16）的顶部固设有平台（4），平台（4）的顶表面上且位于其左右侧分别固设有铰链座（5）和垫块（6），平台（4）的上方设置有坩埚托盘（15），坩埚托盘（15）的左端部铰接于铰链座（5）上，坩埚托盘（15）的右端部支撑于垫块（6）顶表面。本实用新型的有益效果是：结构紧凑、能够快速取出单晶硅液、能够升降石英坩埚、操作简单。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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