用于增强型镶嵌金属填充的润湿预处理的设备发明专利
申请号：CN201080026847.7
LOC分类号:H01L21/288
IPC结构图谱：
- F机械工程；照明；加热；武器；爆破
- F1一般工程
- F17气体或液体的贮存或分配
- F17D管道系统；管路（配水入E03B；泵或压缩机入F04；流体动力学入F15D；阀或类似件入F16K；管子、铺设管子、支撑、连接、支管、管路维修、管路上的工作、附件入F16L；凝汽阀或类似件入F16T；液体压力电缆入H01B 9/06）
- F17D5/00保护装置或观测装置（保护基础的装置入E02D 31/00；保护管子不受损坏或内外磨损入F16L 57/00；防止腐蚀或锈蚀入F16L 58/00：结构部件的流体密封性试验入G01M 3/00）〔2〕
- F17D5/02漏失的预防、检查和确定位置〔2〕
- F17D5/06用电或声学的方法〔2〕
