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反射镜的调整机构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020120284.5
  • IPC分类号:G02B7/198
  • 申请日期:
    2010-02-26
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称反射镜的调整机构
申请号CN201020120284.5申请日期2010-02-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B7/198IPC分类号G;0;2;B;7;/;1;9;8查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人张春莲;徐兵;蔡巍;陈跃飞;王端秀
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
一种反射镜的调整机构,包括固定座,其容纳反射镜;设在固定座上的法向可调固定部,其将固定座固定至基部,法向可调固定部在固定座上形成经过固定座的中心的对称轴,并且使得对称轴可沿反射镜的法向移动;沿对称轴设置的粗调部,其调整固定座相对于对称轴的倾角;沿对称轴设置的精调部,其调整固定座相对于对称轴的倾角;其中,粗调部的倾角调整范围大于精调部的倾角调整范围。本实用新型的反射镜调整机构采用相对于对称轴均布的多点调整,通过调整两侧的粗调螺钉与微调螺钉以及支点在反射镜法向方向的位置即可调整反射镜在光路中的位置,其结构简单,调整效率高,光路光斑容易控制,机械结构可随反射镜的大小变化,不受空间的限制。

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