掩膜板张网力的仿真预测方法及系统、掩膜板张网设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201911155139.2
IPC分类号：G06F30/20;G06F119/14
申请日期：
2019-11-19
申请人：
京东方科技集团股份有限公司

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专利名称	掩膜板张网力的仿真预测方法及系统、掩膜板张网设备
申请号	CN201911155139.2	申请日期	2019-11-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-28	公开/公告号	CN111079261A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F30/20	IPC分类号	G;0;6;F;3;0;/;2;0;;;G;0;6;F;1;1;9;/;1;4查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司
发明人	毕娜;刘月
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	姜春咸;冯建基

摘要

本发明提供一种掩膜板张网力的仿真预测方法及系统、掩膜板张网设备。该掩膜板张网力的仿真预测方法包括：根据公式计算掩膜板的模拟板厚；其中，LP为掩膜板上像素孔的长度；WP为像素孔的宽度；WF为掩膜板沿非拉伸方向的宽度；Thickness为模拟板厚；LAA为掩膜板上有效像素孔区在掩膜板所在平面内沿拉伸方向的长度；α为应变因子，α随有效像素孔区拉伸方向的平均应变设计要求和掩膜板的宽度变化而变化；将模拟板厚输入仿真算法并赋为仿真算法中的掩膜板的厚度值；仿真算法基于模拟板厚仿真预测掩膜板的张网力。该方法能提高张网力计算准确性，还能减小仿真算法的计算量，节约掩膜板设计和测试成本，缩短掩膜板开发周期。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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