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一种空心微针阵列装置及其制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010089390.X
  • IPC分类号:A61M37/00
  • 申请日期:
    2020-02-12
  • 申请人:
    成都工业学院
著录项信息
专利名称一种空心微针阵列装置及其制作方法
申请号CN202010089390.X申请日期2020-02-12
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2020-06-05公开/公告号CN111228643A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号A61M37/00IPC分类号A;6;1;M;3;7;/;0;0查看分类表>
申请人成都工业学院申请人地址
四川省成都市花牌坊街2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人成都工业学院当前权利人成都工业学院
发明人孟令款;李可为
代理机构北京秉文同创知识产权代理事务所(普通合伙)代理人赵星;张文武
摘要
本发明提供了一种空心微针阵列装置,可以是中心对称或非对称(侧开式)的中空微针阵列,具有高通量的头部逐渐尖锐圆滑的凸起结构,支撑结构位于背面,而流体可以从通孔中流入或流出。同时,本发明提供了一种制造微针阵列的方法,首先定义微针阵列的光刻图案,通过多次交替的各向同性刻蚀和各向异性刻蚀,形成顶端凸起的梯次状结构,然后再次进行各向异性刻蚀,形成高深宽比微针阵列侧壁结构;定义微针阵列中孔加工图案,形成内部通孔;最后在所述衬底背面构建支撑结构,由此形成上下互相连通的中孔微针阵列结构。仅利用简单的光刻以及刻蚀相结合的方法即可实现空心微针阵列的制备,制造成本低且工艺简单,适合规模量产。

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