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一种静电卡盘

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510126384.2
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2005-12-08
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称一种静电卡盘
申请号CN200510126384.2申请日期2005-12-08
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2007-03-28公开/公告号CN1937203
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人吉美爱
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司代理人蔡世英
摘要
本发明涉及一种静电卡盘,包括绝缘层和基座,其特征在于,在绝缘层上设有由若干个圆形通路连通若干条对称布置的半径通路,最外圈的圆形通路至静电卡盘外边缘之间均匀布置若干条放射通路,放射通路与最外圈的圆形通路连通,在半径通路的中心交叉点设置有中心气孔,在放射通路与圆形通路的交接处设有外缘气孔。本发明的静电卡盘边缘部分的放射通路,有效地增加了边缘部分的气体的流通,确保了晶片边缘的温度可以足够的降低,实现晶片在整个平面内达到温度均匀。而让气体从中心气孔和若干边缘气孔同时流出,更快地扩散气体,提高了效率,又提高了温度的均匀性。

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