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升降驱动装置及半导体设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010802064.9
  • IPC分类号:H01L21/687;G02F1/13
  • 申请日期:
    2020-08-11
  • 申请人:
    北京七星华创集成电路装备有限公司
著录项信息
专利名称升降驱动装置及半导体设备
申请号CN202010802064.9申请日期2020-08-11
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-11-06公开/公告号CN111900122A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;G;0;2;F;1;/;1;3查看分类表>
申请人北京七星华创集成电路装备有限公司申请人地址
北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京七星华创集成电路装备有限公司当前权利人北京七星华创集成电路装备有限公司
发明人杨星;孙增强
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人彭瑞欣;王婷
摘要
本发明实施例提供一种升降驱动装置及半导体设备,该装置包括升降机构及用于使工作台的水平度保持在预设范围内的平衡机构,平衡机构包括多个气缸和压力控制模块,其中,多个气缸相对于工作台分散设置,且各个气缸均具有竖直设置的活塞件,活塞件的上端用于支撑工作台;压力控制模块与各个气缸连接,用于控制各个气缸中的气体压力,以使各个活塞件能够向工作台施加相同的支撑力,以及压力控制模块用于当任一气缸中的气体压力大于与支撑力对应的压力设定值时,将自气缸流出的气体排入大气环境中,以将各个气缸中的气体压力均保持在压力设定值。本发明实施例提供的升降驱动装置及半导体设备,可以保证工作台的平面度满足要求,减少微环境下发尘量和占用空间。

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