一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201521126064.2
IPC分类号：H01L21/67;H01L31/18
申请日期：
2015-12-29
申请人：
安徽银欣新能源科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置
申请号	CN201521126064.2	申请日期	2015-12-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	安徽银欣新能源科技有限公司	申请人地址	安徽省马鞍山市马鞍山承接产业转移示范园区太仓路1033号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽银欣新能源科技有限公司	当前权利人	安徽银欣新能源科技有限公司
发明人	华重庆;过渭平
代理机构	南京知识律师事务所	代理人	蒋海军

摘要

本实用新型公开了一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，属于太阳能电池生产设备技术领域。本实用新型的用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，包括集水槽、传动机构和喷淋机构，其中，所述的传动机构安装于集水槽内用于承载、输送电池片，在传动机构的上方设有喷淋机构，所述的喷淋机构包括喷淋管、供水管和水箱，喷淋管通过供水管与水箱相连，沿喷淋管的长度方向设有一排节流阀，在喷淋管下方对应的传动机构上设有传感器，且所述供水管上设有进水调节阀，上述传感器、节流阀及进水调节阀均与控制器相连。通过使用本实用新型的喷淋装置，可有效防止喷淋水的空流现象，减少水源浪费，且能够保证水膜形成的稳定性和均匀性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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