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一种MEMS微泵测试系统

实用新型有效专利

申请号：
CN202022119704.4
IPC分类号：G01M13/00
申请日期：
2020-09-24
申请人：
江南大学

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种MEMS微泵测试系统
申请号	CN202022119704.4	申请日期	2020-09-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M13/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M13/00 机械部件的测试	IPC分类号	G01M13/00查看分类表>
申请人	江南大学	申请人地址	江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道18*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江南大学	当前权利人	江南大学
发明人	卞达;赵晓燕;郭永信;赵永武;王永光
代理机构	南京禹为知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	朱宝庆

摘要

本实用新型公开了一种MEMS微泵测试系统，包括，补液组件、贮液组件、控制模块和量测器；所述补液组件分别与所述贮液组件和待测微泵相连接；所述贮液组件分别与所述待测微泵和所述量测器相连接；所述控制模块与所述补液组件、所述待测微泵及所述贮液组件的控制端相连。本实用新型使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试，能够测试较小的输出液体体积和流量，同时，通过控制贮液组件的压力，可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量，且系统中使用了单向阀的设计，保证了测试过程中不存在液体倒流的情况，保证了测试精度。

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