一种治疗脑血管痉挛性头痛的药物组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN201510751843.X
IPC分类号：--
申请日期：
2015-11-06
申请人：
青岛麦瑞特医药技术有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种治疗脑血管痉挛性头痛的药物组合物
申请号	CN201510751843.X	申请日期	2015-11-06
法律状态	驳回	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-01-06	公开/公告号	CN105213996A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	青岛麦瑞特医药技术有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江开发区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛麦瑞特医药技术有限公司	当前权利人	青岛麦瑞特医药技术有限公司
发明人	吴兴连
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种嵌入式碳化硅的制备方法，包括：对形成有半导体器件的衬底NMOS区域进行低温离子注入，以在硅衬底形成非晶硅层；刻蚀所述非晶硅层，形成沟槽；清洗沟槽表面；原位腐蚀沟槽表面；碳化硅沉积，以形成嵌入式碳化硅。本发明通过对衬底NMOS区域进行低温离子注入，以在衬底NMOS区域形成非晶硅层；刻蚀所述衬底NMOS区域的非晶硅层得到NMOS源漏区的沟槽,然后在所述NMOS源漏区的沟槽内形成低位错缺陷的嵌入式SiC，可以在确保碳化硅薄膜低缺陷的前提下，提高NMOSFET的电子迁移率，从而提高它的电流驱动能力。

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