一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201410014276.5
IPC分类号：G01L21/00
申请日期：
2014-01-09
申请人：
中国计量学院

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器
申请号	CN201410014276.5	申请日期	2014-01-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-07-15	公开/公告号	CN104776954A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L21/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L21/00 真空计	IPC分类号	G;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国计量学院	申请人地址	浙江省杭州市江干区下沙学源街258号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国计量学院	当前权利人	中国计量学院
发明人	刘月明;邹建宇;陈浩;夏忠诚;高晓良
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明是一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，它属于光纤传感器技术领域。它包括LD光源、光纤定向耦合器、光电探测器、传感探头、匹配液、微加工的光纤光栅、金属镀膜、匹配滤波FBG。本发明通过空气阻尼影响器光纤光栅悬臂梁谐振子传感器的品质因数进而影响光纤光栅悬臂梁的谐振幅度，最终改变FBG悬臂梁谐振子传感器反射信号中心波长变化来测量真空度。本发明结构简单，抗电磁干扰性能强，可以满足微型化、实时在线分布式和多点监测的要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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