一种节约型匀胶机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720803994.X
IPC分类号：B05B7/04;B05B12/08
申请日期：
2017-07-05
申请人：
捷捷半导体有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种节约型匀胶机
申请号	CN201720803994.X	申请日期	2017-07-05
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05B7/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05B 喷射装置；雾化装置；喷嘴（有喷嘴的喷射混合机入B01F 5/20；用喷射使液体或其他流体涂布于表面的方法入B05D）〔2〕 B05B7/00 从两个或多个来源喷射液体或其他流体的喷射装置，如喷射液体和空气，喷射粉末和气体（B05B 3/00，B05B 5/00优先） B05B7/02 喷枪；排射装置（B05B 7/14，B05B 7/16，B05B 7/24优先） B05B7/04 喷射前用于将液体或其他流体混合的装置〔2〕	IPC分类号	B;0;5;B;7;/;0;4;;;B;0;5;B;1;2;/;0;8查看分类表>
申请人	捷捷半导体有限公司	申请人地址	江苏省南通市苏通科技产业园井冈山路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	捷捷半导体有限公司	当前权利人	捷捷半导体有限公司
发明人	王成森;王琳;王志超
代理机构	南京正联知识产权代理有限公司	代理人	卢海洋

摘要

本实用新型公开了一种节约型匀胶机，其升降电机的输出轴上固定有丝杠，丝杠的下部通过滚珠螺母设有滑块，机架的侧面设有与滑块配合的燕尾滚珠滑道，滑块上设有喷胶机构，喷胶机构的下方设有吸盘，吸盘的底部中央设有空心轴，空心轴通过轴承座固定在机架上，旋转电机的输出轴与空心轴的底部固定连接。该匀胶机喷胶的面积基本能达到硅片面积的80％，然后在旋转电机的作用下进行高速旋转甩胶，既能有效节约光刻胶的用量，又能有效避免硅片在周边产生缺口状的缺胶质量，在表面沟槽的向心方向和离心方向产生胶膜厚度的差异，还可以增加光刻胶与硅片表面的粘附，提高匀胶的质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供