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铈系研磨材料、其品质检验方法和制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01815781.5
  • IPC分类号:C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00;H01L21/304
  • 申请日期:
    2001-09-18
  • 申请人:
    三井金属鉱业株式会社
著录项信息
专利名称铈系研磨材料、其品质检验方法和制造方法
申请号CN01815781.5申请日期2001-09-18
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2003-12-31公开/公告号CN1464901
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C09K3/14IPC分类号C;0;9;K;3;/;1;4;;;C;0;1;F;1;7;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人三井金属鉱业株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三井金属鉱业株式会社当前权利人三井金属鉱业株式会社
发明人内野义嗣;山崎秀彦;高桥和明
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人沙永生
摘要
本发明提供了铈系研磨材料的品质检验方法,该方法能对铈系研磨材料的研磨特性简便地进行品质检验。具体地说,该方法是使用X射线衍射测定法的品质检验方法,例如根据由对应于LnxOy的峰强A与对应于LnF3的峰强B求出的B/A来进行品质检验。本发明还提供了可获得具有给定研磨特性的铈系研磨材料的铈系研磨材料制造方法、以及具有与用途对应的给定研磨特性的铈系研磨材料。

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