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偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201611224947.6
  • IPC分类号:G02B7/198
  • 申请日期:
    2016-12-27
  • 申请人:
    西安交通大学
著录项信息
专利名称偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
申请号CN201611224947.6申请日期2016-12-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-03-22公开/公告号CN106526785A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B7/198IPC分类号G;0;2;B;7;/;1;9;8查看分类表>
申请人西安交通大学申请人地址
陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西安交通大学当前权利人西安交通大学
发明人徐明龙;宋思扬;田征;冯勃;邵恕宝
代理机构西安智大知识产权代理事务所代理人何会侠
摘要
一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法,该偏转装置主要由三个部分组成:用于固定安装的底座和固定支座;提供偏转驱动的弹性筝形环和偏转支撑座,以及反射镜承载台、反射镜以及约束反射镜承载台产生偏转位移的柔性铰链和其连接台;本发明使用四个压电陶瓷实现偏转角度的输出控制,具有控制精度高,响应快的特点;压电陶瓷分为两组,采用差动的方式驱动同组的压电陶瓷,即可实现对应的单轴偏转位移,同时驱动四个压电陶瓷即可实现反射镜的双轴偏转;该装置采用反射镜沉降的结构形式,偏转轴相交于反射镜表面,因此减少了偏转时镜面纵向位移所带来的光路控制误差;同时,结构具有低矮、紧凑的结构特征,所需的安装使用空间小。

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