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涂布膜形成组合物和半导体装置的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980024774.9
IPC分类号：C09D139/04;C09D7/20;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/532
申请日期：
2019-04-02
申请人：
日产化学株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	涂布膜形成组合物和半导体装置的制造方法
申请号	CN201980024774.9	申请日期	2019-04-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-13	公开/公告号	CN111936588A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09D139/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K 5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K 3/10；用于防止泄漏的材料入C09K 3/12；电解或电泳生成镀层的方法入C25D）〔5〕 C09D139/00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以连接氮的单键或双键，或以含氮杂环作为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物〔5〕 C09D139/04 含有以氮为环原子的杂环单体的均聚物或共聚物〔5〕	IPC分类号	C;0;9;D;1;3;9;/;0;4;;;C;0;9;D;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;2查看分类表>
申请人	日产化学株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日产化学株式会社	当前权利人	日产化学株式会社
发明人	西田登喜雄;坂本力丸;染谷安信;岸冈高广
代理机构	中国贸促会专利商标事务所有限公司	代理人	暂无

摘要

提供涂布膜形成组合物和使用了其的半导体装置的制造方法，所述涂布膜形成组合物包含(a)含有由下述式(1a)或(1b)表示的结构单元的聚合物，和(b)包含1～49质量％的选自丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚、2‑羟基异丁酸甲酯、3‑乙氧基丙酸乙酯和乳酸乙酯中的至少1种的有机溶剂和51～99质量％的水的溶剂。

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