一种电子束的束流引导装置

发明专利有效专利

申请号：
CN03137303.8
IPC分类号：H01J37/147
申请日期：
2003-06-10
申请人：
清华大学;清华同方威视技术股份有限公司

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专利名称	一种电子束的束流引导装置
申请号	CN03137303.8	申请日期	2003-06-10
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2005-01-19	公开/公告号	CN1568125
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/147 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/147 沿所需路径导引或偏转电子流的装置（透镜入H01J 37/10）〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;4;7查看分类表>
申请人	清华大学;清华同方威视技术股份有限公司	申请人地址	北京清华同方科技广场A座2907 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学,同方威视技术股份有限公司	当前权利人	清华大学,同方威视技术股份有限公司
发明人	唐传祥;孙志超
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种电子束的束流引导装置，涉及辐照加工技术领域。它包括电子加速器、真空泵及可弯曲和伸缩的束流软管。其结构特点是，束流软管的两端设有引入窗和引出窗使束流软管封闭。束流软管的引入窗与电子加速器的光束管相接，其引出窗可放置在被测物品之处。束流软管的外壁设有可使用循环水冷的线圈绕阻，线圈绕阻的外围设有磁轭。束流软管的初段外壁上设置可使束流软管内真空的真空泵和线圈电源及水冷系统。使用本发明可方便、灵活、任意改变电子束流引出位置和方向，无需改变加速器的位置或被照物体的位置及其形状，只需将束流引出窗移动到指定位置即可。具有结构简单、检测成本低的特点。

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