一种光频梳参考的波长扫描三维形貌测量系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201710453499.5
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2017-06-15
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	一种光频梳参考的波长扫描三维形貌测量系统
申请号	CN201710453499.5	申请日期	2017-06-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-08-18	公开/公告号	CN107063125A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区信箱82分箱清华大学专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	张伟鹏;尉昊赟;杨宏雷;李岩
代理机构	西安智大知识产权代理事务所	代理人	段俊涛

摘要

一种光频梳参考的波长扫描三维形貌测量系统，包括光频梳参考可调谐光源模块和菲索干涉模块，光频梳参考可调谐光源模块包括：飞秒光学频率梳、波长计、可调谐激光器和拍频探测及锁定反馈模块，飞秒光学频率梳提供可以溯源至原子钟的光学频率参考，实现一套波长可以大范围调谐的，并且具有极高频率稳定度的可调谐光源系统，大大减小了由于光源频率稳定度造成的测量误差，菲索干涉模块引入傅里叶变换相位测量方法，减小了测量时间并且提高了相位测量的精度。本发明可准确测量物体表面的三维形貌，并且对于物体高度起伏没有严格的要求和限制，综合测量精度可达20纳米以内，具有较强的通用性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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