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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

传送手臂

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821748086.6
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2018-10-26
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称传送手臂
申请号CN201821748086.6申请日期2018-10-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人不公告
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)代理人余明伟
摘要
本实用新型提供一种传送手臂,传送手臂包括:传送叶片,传送叶片上包括至少三个含氟晶圆承载部,含氟晶圆承载部凸出于传送叶片,且含氟晶圆承载部的上表面位于同一水平面,以承载晶圆。通过具有耐高温、耐腐蚀、弹性及软性的含氟晶圆承载部承载晶圆,可增加含氟晶圆承载部与晶圆表面的接触面积及摩擦力;在将晶圆传送至机台中的相关动件位置时,还可增强晶圆与相关动件间的接触的冲击缓冲能力;从而使传送的晶圆的位置具有较高的精准度;从而提高产品质量。

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