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具有浅接面的非挥发性内存的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01134772.4
  • IPC分类号:H01L21/8246
  • 申请日期:
    2001-11-12
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称具有浅接面的非挥发性内存的制造方法
申请号CN01134772.4申请日期2001-11-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2003-05-21公开/公告号CN1419282
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8246
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;6查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
台湾省新竹科学工业园区力行路16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人郭东政;黄守伟;刘建宏;潘锡树
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王学强
摘要
一种具有浅接面的非挥发性内存的制造方法,其中一栅极结构形成于一基底上,此一栅极结构包括有一电子捕捉层及一导电层。一掺杂间隙壁形成在栅极结构的侧壁上。接着,多条埋入式位线形成于该栅极结构侧边的基底中。然后,进行一热处理,使掺杂剂由掺杂间隙壁中扩散至邻接埋入式位线的基底中。

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