在衬底处理系统中用于无匹配式等离子体源的直接频率调谐

发明专利有效专利

申请号：
CN201980054228.X
IPC分类号：H01J37/32;H03H7/40;H02M3/337
申请日期：
2019-08-08
申请人：
朗姆研究公司

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著录项信息

专利名称	在衬底处理系统中用于无匹配式等离子体源的直接频率调谐
申请号	CN201980054228.X	申请日期	2019-08-08
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-03-30	公开/公告号	CN112585715A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;3;H;7;/;4;0;;;H;0;2;M;3;/;3;3;7查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	王雨后;龙茂林;吴垠;亚历山大·米勒·帕特森
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	李献忠;张华

摘要

一种用于将RF功率提供至衬底处理系统的部件的驱动电路包含在第一频率下运行的等离子体源。负载包含所述衬底处理系统的所述部件。阻抗网络将所述等离子体源连接至所述负载。电流传感器感测在所述等离子体源的输出处的电流。电压传感器感测在所述等离子体源的所述输出处的电压。控制器包含调谐频率计算器，所述调谐频率计算器被设置成：基于所述电压、所述电流以及所述阻抗网络的配置来计算用于所述等离子体源的调谐频率；以及基于所述调谐频率来调节所述第一频率。

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