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微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810111890.8
  • IPC分类号:B23H7/26;B23H1/00
  • 申请日期:
    2008-05-19
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构
申请号CN200810111890.8申请日期2008-05-19
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-02-11公开/公告号CN101362236
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23H7/26IPC分类号B;2;3;H;7;/;2;6;;;B;2;3;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
北京市-82信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学当前权利人清华大学
发明人李勇;徐明刚;刘伟;陈旭鹏;贾维溥
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人朱印康
摘要
本发明属于特种微细加工技术领域,涉及一种微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构,由微细电极丝进给与损耗自动补偿模块、微细电极丝辅助激振模块以及微细电极丝精密导向模块组成。常闭夹丝机构位于常开夹丝机构和精密导向模块之间,缩短了常闭夹丝机构夹丝点与导向模块间的距离,提高了微细电极丝的稳定性。微细电极丝在伺服进给的同时,还在辅助激振模块的作用下高频振动,用于改善间隙放电状态与排屑条件,提高加工效率。精密导向模块采用在硅片上刻蚀的精密V型导向槽实现对微细电极丝的高精度导向,一种规格V型导向槽的硅片可以适应一定直径范围的电极丝。本发明用于微细孔加工。

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