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一种深层固化型固结磨料抛光垫的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710337143.5
  • IPC分类号:B24D18/00
  • 申请日期:
    2017-05-14
  • 申请人:
    高昕文
著录项信息
专利名称一种深层固化型固结磨料抛光垫的制备方法
申请号CN201710337143.5申请日期2017-05-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-08-18公开/公告号CN107053032A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24D18/00IPC分类号B;2;4;D;1;8;/;0;0查看分类表>
申请人高昕文申请人地址
广东省东莞市虎门镇树田社区树安工业区银泰北路1号四楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市均新胜光电科技有限公司当前权利人东莞市均新胜光电科技有限公司
发明人高昕文;王艳芹
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明涉及固结磨料抛光垫的制备方法,属于化学机械抛光敷料制备技术领域。本发明以正丙醇锆为前驱体,复合环氧树脂与丙酮为介质,静电纺丝制备高折光纤维后,将高折光纤维与碳化硅磨料混合球磨并与其他物料进行共混,通过紫外光固化过程中,紫外光通过高折光材料的作用下,深入至固结磨料抛光垫深层进行紫外固化,有效改善固结磨料抛光垫固化速率和均一固化程度,有效改善抛光垫使用性能。本发明深层固化型固结磨料抛光垫干态铅笔硬度为3~4H,湿态铅笔硬度为3H/3~5B,溶胀率为2.67~3.56%,具有较长的使用寿命和较高的工作效率。

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