用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110187252.X
IPC分类号：G01N21/17;G01N21/21;G01B11/06
申请日期：
2021-02-18
申请人：
FEI公司

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著录项信息

专利名称	用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法
申请号	CN202110187252.X	申请日期	2021-02-18
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-08-20	公开/公告号	CN113281260A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/17 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;1;7;;;G;0;1;N;2;1;/;2;1;;;G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	FEI公司	申请人地址	美国俄勒冈州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	FEI公司	当前权利人	FEI公司
发明人	M·库伊珀;M·R-J·沃斯;O·L·沙涅尔;P·戈登多普
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邹松青;王丽辉

摘要

本发明涉及一种用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法。所述样品包括嵌入基质层内的试样。所述装置包括：光源，其被布置成用于将光束导向所述样品；以及检测器，其被布置成用于响应于所述光束入射到所述样品上而检测从所述样品发射的光。最后，所述装置包括控制器，所述控制器连接到所述检测器，并且被布置成基于由所述检测器接收到的信号来确定所述基质层的特性。

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