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极紫外光辐射源

发明专利无效专利

申请号：
CN201811229203.2
IPC分类号：H05G2/00
申请日期：
2018-10-22
申请人：
台湾积体电路制造股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	极紫外光辐射源
申请号	CN201811229203.2	申请日期	2018-10-22
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-21	公开/公告号	CN109788623A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05G2/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05G X射线技术（用于放射诊断的仪器入A61B 6/00；X射线治疗入A61N；用X射线测试的入G01N；X射线照相设备入G03B；滤波器、转换屏、显微镜入G21K；X射线管入H01J 35/00；具有X射线输入的电视系统入H04N 5/321） H05G2/00 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生（X射线激光器入H01S 4/00；一般等离子体技术入H05H）〔5〕	IPC分类号	H;0;5;G;2;/;0;0查看分类表>
申请人	台湾积体电路制造股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	台湾积体电路制造股份有限公司	当前权利人	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人	赖韦志;张汉龙;杨基;简上杰;刘柏村;陈立锐;郑博中
代理机构	隆天知识产权代理有限公司	代理人	黄艳

摘要

一种极紫外光源的标靶液滴源包括一液滴产生器，配置用以产生一给定材料的标靶液滴。液滴产生器包括一喷嘴，配置用以在由一腔室封闭的一空间中供应标靶液滴。标靶液滴源还包括一套筒，设置在腔室中且靠近喷嘴。套筒配置用以为标靶液滴在腔室中提供一路径。

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