UV基片加热和光化学的设备

发明专利无效专利

申请号：
CN98814315.1
IPC分类号：--
申请日期：
1998-11-16
申请人：
FSI国际股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	UV基片加热和光化学的设备
申请号	CN98814315.1	申请日期	1998-11-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-02-20	公开/公告号	CN1337062
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	FSI国际股份有限公司	申请人地址	美国明尼苏达州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	FSI国际股份有限公司	当前权利人	FSI国际股份有限公司
发明人	R·T·费菲尔德;B·施瓦布
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	李玲

摘要

本发明的装置提供UV源既加热衬底和促进衬底处理所必需的光化学的两种用途。本发明还提供一种处理衬底的方法，通过第一功率电平的UV辐射使衬底加热到环境温度以上的温度，并在出现第二功率电平的UV辐射时，通过把衬底暴露在光化学(UV)反应化合物或能够与衬底表面上复合物起作用的反应化合物中而形成光化学反应复合物。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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