首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

一种晶圆环锁紧装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120375128.8
IPC分类号：H01L21/687;F16B2/20
申请日期：
2011-10-08
申请人：
深圳翠涛自动化设备股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种晶圆环锁紧装置
申请号	CN201120375128.8	申请日期	2011-10-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/687 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕 H01L21/687 使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;F;1;6;B;2;/;2;0查看分类表>
申请人	深圳翠涛自动化设备股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区大浪街道浪口社区华荣路德泰科技工业园第8栋厂房一层至四层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳翠涛自动化设备股份有限公司	当前权利人	深圳翠涛自动化设备股份有限公司
发明人	李蔚然
代理机构	深圳市君胜知识产权代理事务所	代理人	王永文

摘要

本实用新型公开了一种晶圆环锁紧装置，包括晶圆盘，还包括沿晶圆盘边缘设置的紧固条，所述紧固条的一端与所述晶圆盘连接，所述紧固条的另一端与一拉环钩连接，所述拉环钩扣接一固定在所述晶圆盘上的工具扣。由于采用了工具扣将整个晶圆环锁紧装置进行锁紧，其操作方法简单便捷，晶圆环锁紧快速稳定，不需要操作者花太大的力气去完成，也不会扭伤操作者的手。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供