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一种用于消除静电的系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200710199151.4
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L21/00;H05F3/04;B65G47/90;B65G49/06
  • 申请日期:
    2006-04-28
  • 申请人:
    友达光电股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于消除静电的系统
申请号CN200710199151.4申请日期2006-04-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2008-06-11公开/公告号CN101197302
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;5;F;3;/;0;4;;;B;6;5;G;4;7;/;9;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人友达光电股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人友达光电股份有限公司当前权利人友达光电股份有限公司
发明人刘家彰;陈庆育;赵启仲
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人彭久云
摘要
一种用于消除静电的系统,包括一机械手臂;一夹爪,设置在该机械手臂前端;以及一杆状式静电消除器,设置在该机械手臂上,其中该杆状式静电消除器调整固定于一角度以调整该杆状式静电消除器的涵盖角度,该杆状式静电消除器包括:一长形杆体,该长形杆体内设有一高压气体管路及一电源装置;多个放电针,设置在该长形杆体上,并电性连接该电源装置;以及多个喷嘴,设置在该长形杆体上,所述喷嘴各自对应于所述放电针,并与该高压气体管路相通。

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